j9九游会全球光刻机行业简述随着物联网高速发展,芯片不限用于手机和电脑,已涉及生活日常用品中如冰箱、洗衣机、空调和电视等物品。
1965年,英特尔公司创始人之一戈登摩尔博士提出摩尔定律,预言半导体集成电路密度每年将会翻倍,此定律为半导体领域的原生驱动力。60年代末,日本佳能与尼康进入光刻机领域。
1984年4月,ASML正式成立。1985年ASML与蔡司(Zeiss)公司合作改进光学系统,凭借PAS-2500产品占有10%市场份额。
2002年,台积电公司林本坚博士提出“浸没式光刻机技术”,打破困扰全球光刻机领域发展长达20多年无法突破193nm光源的技术难题。
2010年ASML公司成功研发首台EUV光刻机NXE:3100,利用EUV极紫外光刻技术突破10nm的关键。
目前为止,ASML凭借EUV光刻机,成为光刻机领域超高端市场的垄断企业,最新EUV极紫外光技术能达到5nm精度。光刻机领域未来竞争格局难以改变。
ASML独特规定:唯有注资ASML公司成为股东之一的企业,才能获得优先供货权。ASML公司最大股东为资本国际集团,第二大股东为美国贝莱德集团,前两大股东均为美国资本,ASML已是不折不扣美系资金企业。EUV光刻机每个关键零部件均使用世界最先进技术,ASML光刻机中超过90%零件都是向外采购。美国和德国向ASML提供最为核心超精密机械支持以及光学技术,美国可直接在源头端参与控制ASML公司运营。多年来美国利用“长臂管辖权”j9九游,不断限制中国光刻机领域发展,不允许任何半导体企业向中国供应半导体技术,从而抑制中国半导体行业发展速度。2018年,中芯国际向ASML提出购买7nmEUV光刻机意向,但因遭受美国贸易管制阻挠,此交易始终未能完成。
高精密光学镜片是光刻机核心部件之一,高数值孔径的镜头决定光刻机分辨率以及套值误差能力,EUV极紫外光刻机唯一可使用的镜头由卡尔蔡司生产。
高性能光刻机需要体积小、功率高和稳定的光源,主流EUV光源为激光等离子光源(LPP),目前只有美国厂商Cymer和日本厂商Gigaphoton才能够生产。
2019年台积电以51%的市场占有率处于绝对领先的地位,三星和格芯分列第二、第三,中国厂商中芯国际暂列第五。
中芯国际是全球领先的集成电路晶圆代工企业之一,中国技术最先进、 规模最大、配套服务最完善的专业晶圆代工企业,中芯国际推出中国最先进24纳米NAND、40纳米高性能图像传感器等特色工艺,是国内第一家实现14纳米FinFET量产的晶圆代工企业,代表中国自主研发集成电路制造技术的最先进水平。
上海微电子装备(集团)股份有限公司(简称SMEE)成立于2002年,主要致力于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务。公司设备广泛应用于集成电路前道、先进封装、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造领域。官方公告将在2021-2022年交付第一台28nm制程工艺中国沉浸式光刻机 ,中国光刻机将从90nm一举突破28nm工艺 。
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